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業務項目

濺射設備,CVD設備,真空蒸鍍設備,氣相沉積聚合設備,灰化裝置,蝕刻設備,離子注入機,退火裝置,真空爐,收卷裝置,冷凍真空乾燥機,真空蒸餾設備,氦氣洩漏測試設備,TCO激光劃片機,間歇式乾法蝕刻設備,乾燥爐,廢氣測量儀,真空泵,真空計,氣體分析儀（過程氣體監測儀）,檢漏儀,高速光譜橢偏儀,晶體振盪式沉積控制器,真空閥,直流電源,直流脈衝電源,中頻電源,射頻電源,EB槍/ EB電源,真空輸送機器人,分子相互作用定量QCM裝置,微精密攪拌器,小型成膜設,低溫設備（CRYO）,熱處理/熱物理性質評估裝置